Monitoramento AMC de poluentes moleculares do ar

Perfeito.Monitoramento AMC de poluentes moleculares do ar

O monitoramento em tempo real da poluição molecular do ar (AMC) é fundamental para os processos de produção de semicondutores.

Monitoramento AMC de poluentes moleculares do arMonitoramento rápido, alarme, medição de concentrações extremamente baixas, área de medição ampla e resposta altamente sensível para vários gases são um dos requisitos da indústria de semicondutores. O processo de fotografia ultravioleta profunda presta especial atenção à medição de concentrações de amônia, aminas, N-metilpirolanona NMP, ácidos e outros, quando esses gases e a reação química de reflexão de fotografia amplificada afetam profundamente a qualidade do dispositivo semicondutor.

Os métodos tradicionais e antigos usam métodos de análise de medição indireta. Incluindo filtros de pó de impacto, cromatografia iônica e fluorescência química, esses métodos são muito lentos para analisar, o processo operacional é muito complicado, caro e os resultados de medição são imprecisos.

CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum) - Princípios

Baseado no esquema instrumental da tecnologia CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum), a câmara de medição é composta por um conjunto de colunas de lentes múltiplas refletidas de alta refletidão, que são medidas pelo comprimento de onda relativo do laser quando o feixe laser passa por um calibrador de estado sólido (FSR = 2,00 GHz). Para garantir a clareza, o feixe de luz originalmente irradiado para fora da camaroscópia da unidade de medição à esquerda é ignorado.

A versão EP melhorada integra sensores de pressão e controladores de temperatura internos com câmaras de medição ultra-estáveis ​​para evitar erros causados ​​por desvios de temperatura, mudanças de pressão e muito mais.

O CEAS (espectroscopia de absorção reforçada pela cavidade) tem muitas vantagens comprovadas em comparação com a primeira geração da tecnologia CRDS (espectroscopia de decadimento da cavidade). Em suma, o feixe laser não precisa de acoplamento de ressonância para entrar na câmara de medição (por exemplo, o feixe não precisa de alinhamento rigoroso). Os instrumentos e sistemas analíticos DUKE apresentam características como instalação simples, robustez mecânica e proteção robusta.