O analisador de concentração de hidrogênio-flúoro é projetado para condições de trabalho exigentes, combinando medições de alta precisão, adaptação ao padrão de limpeza SEMIG5 e desempenho resistente a altas temperaturas para lidar eficazmente com a decadência da fonte de luz e as flutuações do meio. O controle de temperatura elimina a interferência ambiental e garante a operação estável a longo prazo em ambientes de alta corrosão e alta temperatura, como o ácido hidrogênico-flúoro, para atender às necessidades de monitoramento em tempo real de parâmetros de processo em semicondutores e indústrias fotovoltaicas.
Apresentação do Produto
Analisador de concentração de hidrogênio-flúoroO produto tem alta precisão, grau SEMIG5, resistência a altas temperaturas, fonte de luz de longa vida, detector de termostato e outras características, com uma faixa de medição de 0-55%. O sensor usa uma estrutura de piscina de circulação de PTFE / PFA ultrapuro combinado com prisma óptico de zafiro de grande área, através da acumulação de tecnologia de longo prazo e pesquisa e desenvolvimento, resolvendo o problema do "pescoço do cartão" dos produtos de medição on-line da concentração de produtos químicos eletrônicos úmidos na indústria de semicondutores.
Analisador de concentração de hidrogênio-flúoroSem pré-tratamento de amostras, sem consumo de reagentes, medições rápidas em segundo grau permitem que as empresas dominem a dinâmica de produção em tempo real. Sem movimentos mecânicos durante o processo de inspeção para garantir a estabilidade do uso a longo prazo. O instrumento usa uma fonte de luz de vida ultra-longa de até 100.000 horas, o processo de detecção não tem movimentos mecânicos, garantindo uma operação estável a longo prazo e reduzindo os custos de manutenção. Prisma de detecção de estrutura plana completa para evitar esconder sujeira. A calibração de fábrica e a compensação automática da temperatura permitem que você entre em serviço diretamente sem configurações complicadas. Suporta a comunicação do computador superior, saída de sinal 4-20mA e RS485, alarme e saída de sinal de volume de comutação, suporte à função de modelagem de dados, modelo de dados pode ser personalizado.
Área de aplicação
Os analisadores de concentração de hidrogênio-flúoro são usados principalmente em áreas que exigem monitoramento e controle de concentrações de hidrogênio-flúoro, incluindo:
1. Fabricação de semicondutores:
Processo de gravura: no processo de fabricação de semicondutores, o ácido hidroflúoro é amplamente usado como agente de gravura para remover materiais como óxido de silício e nitreto de silício. O controle da concentração de hidrogênio-flúoro é essencial para controlar a taxa de gravação e garantir a uniformidade da gravação.
Processo de limpeza: o ácido hidroflúrico também é usado para limpar impurezas e resíduos da superfície do wafer. O controle de concentração também afeta o efeito de limpeza e a qualidade do wafer.
Processo de dopagem: Em alguns processos de dopagem, o ácido hidroflúrico é usado para pré-tratar a superfície do wafer.
Fabricação de células solares:
Tratamento de superfície de folha de silício: o ácido hidroflúrico é usado para limpar a superfície de folha de silício, remover a camada de óxido da superfície e as impurezas metálicas e melhorar a eficiência da conversão fotoelétrica das células solares.
Tratamento de faceting: Alguns processos de produção de células solares usam hidrogênio-flúoro ácido para faceting superfície de folha de silício, aumentando a taxa de absorção de luz.
Fabricação de monitores de cristal líquido (LCD) e OLED:
Limpeza do substrato de vidro: no processo de fabricação de LCDs e OLEDs, o ácido hidroflúoro é usado para limpar o substrato de vidro, remover os poluentes da superfície e melhorar a qualidade da tela.
Gravação em película fina: a gravura seletiva com ácido hidroflúrico é usada em certos processos de película fina.
Laboratório de Análise Química:
Formulação de reagentes de alta pureza: para a formulação de soluções de hidrogênio-ácido fluorado de alta pureza, como um reagente importante em experimentos químicos analíticos.
Pré-tratamento de amostras: o ácido hidroflúrico é usado para dissolver algumas amostras difíceis de solver para análise química posterior.
Produção de produtos químicos eletrônicos:
Controle de qualidade: Durante o processo de produção de hidrogênio-flúoro de classe eletrônica, a concentração do produto precisa ser monitorada em tempo real para garantir que o produto cumpra os padrões de qualidade.
Otimização de processo: otimize o processo de produção para melhorar a pureza do produto e o rendimento através da medição de dados de concentração.
6. Instituições de Pesquisa:
Pesquisa de materiais: usado para estudar o comportamento corrosivo do ácido hidroflúrico em vários materiais, fornecendo referência para o desenvolvimento de novos materiais.
Estudo de reações químicas: usado para estudar várias reações químicas envolvidas em ácido hidrogênico-fluorado, como a reação de fluoração.
Parâmetros técnicos
Modelo do produto |
CYR-E-HF |
Projetos de medição |
Refractoridade, temperatura, concentração |
Alcance de medição |
0-55% |
Resolução |
0.01% |
Precisão de repetição |
± 0.02% |
Temperatura de medição |
0 a 130°C |
Compensação de temperatura |
0-130℃ |
Materiais-chave |
Material de superfície táctil: PTFE ultrapuro ou PFA; Casco: revestido de flúor |
Material do prisma |
Sapphire óptico |
Saída do sinal |
DC4 a 20mA e RS485; 2 saídas de sinal de interruptor |
Alimentação de entrada |
DC 24V ou AC 220V |
Nível de proteção |
IP65 |
Pressão do processo |
≤1MPa (10Bar) grau de pressão superior pode ser personalizado |
Dimensão Peso |
Sensor: ¢ 119 * 188mm / cerca de 2.0KG |
Opções de instalação |
Instalação de tubulação de 1/2 polegada |
Outras funções |
Painel de operação multifuncional do host para visualizar dados como concentração, temperatura, refração, etc.
Suporta dicas de código de falha, zero com um clique, restauração de configurações de fábrica, registro de curvas e exportação de dados
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