Máquina de gravação a laser DMD

NegociávelAtualização em02/01

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Visão geral

A fotogravura sem máscara de desktop miniaturizada $r$n$r$n é um dispositivo tecnológico de fotogravura que não precisa usar a versão de máscara física tradicional para transferir os gráficos do circuito, mas, em vez disso, usa um feixe de alta precisão controlado por computador para varrer a exposição diretamente no material fotossensor para formar os gráficos microscópicos necessários. Atualmente em microeletrônica, microprocessamento, MEMS、LED、 Existem amplas aplicações em áreas como os biochips.

Detalhes do produto

O ZML10A é um dispositivo inovador de fotografia sem máscara de nível desktop projetado para as necessidades de processamento nanométrico eficiente e preciso. O dispositivo usa uma fonte de luz LED de alta potência e alta uniformidade, combinada com a tecnologia DLP, para alcançar a função de exposição guiada por luz amarela ou verde, para realmente "ver como ganhar", melhorando significativamente a facilidade operacional e a controlabilidade do processo. Sua estrutura de circuito óptico e a mesa de deslocamento do motor linear de alta precisão garantem a precisão da exposição e a capacidade de posicionamento repetitivo, ao mesmo tempo que o sistema de foco automático campo a campo da câmera CCD otimiza ainda mais a qualidade de imagem e a estabilidade do processo. O equipamento suporta a comutação de objetivos elétricos e foco ativo a laser, proporcionando flexibilidade para atender às necessidades de diferentes cenários de aplicação. Seu design compacto de miniaturização da área de trabalho não só economiza espaço, mas também é fácil de implantar em laboratório ou ambiente de produção. Além disso, o ZML10A está equipado com uma interface de software intuitiva e fácil de usar, reduzindo drasticamente o limiar de operação para que mesmo os iniciantes possam começar rapidamente. Seja para a preparação de estruturas supermateriais, padrões de eletrodos ou microestruturas complexas, como chips de microfluidos, o ZML10A oferece suporte confiável e é ideal para pesquisadores e usuários industriais.

• Características técnicas

▲ Minimização da área de trabalho

Fonte de luz de gravação LED de alta potência e uniformidade

▲ Luz amarela / verde guia a exposição, o que você vê é obtido

Câmera CCD com foco automático

▲ Motor linear de alta precisão

▲ Interface de software fácil de operar

• Estrutura do caminho distante

DMD激光直写光刻机

• Indicadores principais

Indicadores técnicos-chave
Comprimento de onda central da fonte de luz ultravioleta	405 nm
Uniformidade da exposição	90%
Largura mínima da linha da característica	0,5 um
Área de exposição única	0,6 * 0,4 milímetros (@0.5um)
Velocidade de gravação	3mm ^ 2 / min (@ 0.5um)
Configuração	Edição básica	Edição Profissional
Fonte de Luz	Luz LED: 405nm
Chips DMD	O DLP6500
Área de exposição única	0.6 * 0.4mm (@0.5um), 1.2 * 0.8mm (@0.8um) 2.4 * 1.6mm (@1.5um), 12 * 8mm (@8um)
câmera	Microcâmera de grande alvo (suporte a medição de tamanho)
Precisão de gravação	1um	0,7 um
Velocidade de gravação	3mm²/min (@0.5um)	20mm²/min (@0.5um)
Estação desportiva	Motor linear de alta precisão (precisão de posicionamento repetido ± 0,5 um) mecanismo de alinhamento, mesa rotativa manual	Motor linear de alta precisão (precisão de posicionamento repetido ± 0.5um) mecanismo de alinhamento, mesa rotativa elétrica
Convertidor de objetivos	Alternação de objetivos manuais	Alternação de objetivos elétricos
Módulo de Foco	Foco automático de imagem CCD	Foco ativo a laser
Suporte para tamanhos de silicone	4 polegadas	8 polegadas

Casos de aplicação

DMD激光直写光刻机

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