Filtro de gás Entegris

NegociávelAtualização em03/31

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Visão geral

O WGFG01DSH é um filtro ponto-de-uso projetado para sistemas de transporte de gás de alta pureza. Ele é usado principalmente para proteger equipamentos de processo críticos a jusante, remover partículas poluentes do gás e garantir que o gás de processo atenda aos rigorosos requisitos de limpeza.

Detalhes do produto

Filtro de gás Entegris WGFG01DSH

1. Visão geral do produto
O WGFG01DSH é um filtro ponto-de-uso projetado para sistemas de transporte de gás de alta pureza. Ele é usado principalmente para proteger equipamentos de processo críticos a jusante, remover partículas poluentes do gás e garantir que o gás de processo atenda aos rigorosos requisitos de limpeza.

Parâmetros e especificações principais

projeto	Parâmetros / Especificações
Modelo do produto	WGFG01DSH
Nível do filtro	Normalmente configurado com um filtro de sinterização metálica de 0,003 mícrons (3 nanômetros) ou superior, dependendo do sufixo do modelo encomendado.
Mídia de filtragem	Filtro de fibra metálica sinterizada em aço inoxidável (como a tecnologia de feltro de fibra Bekaert da Entegris).
Materiais da carcaça	Aço inoxidável 316L (baixo nível de ferro e enxofre).
modo de conexão	VCR ® ou VCO ® Conexões de vedação superficial, normalmente de 1/4 de polegada ou 1/2 de polegada (dependendo da confirmação do pedido específico).
Materiais de vedação	Geralmente é usado vedação totalmente metálica (sem polímeros) ou borracha fluorada opcionalmente que atenda aos requisitos do processo de semicondutores (como Viton). ®/ FKM) anel de vedação.
Projeto de pressão	Projetos de alta pressão com valores típicos como 2.000 psig (138 bar) ou superiores, por exemplo, na folha de dados do produto.
Temperatura do projeto	Pode ser adaptado a ambientes de assado a altas temperaturas, com temperaturas de funcionamento típicas acima de 150 °C.
Tratamento de superfície	O interior da carcaça é tratado com polimento eletrólico (EP) para reduzir a taxa de absorção e saída de partículas.
Taxa de remoção de partículas	Para partículas com tamanho de partícula alvo, como ≥ 0,003 μm, a eficiência de remoção é geralmente ≥ 99,9999%.
Teste de fábrica	Cada filtro passa por rigorosos testes de integridade de fábrica (por exemplo, testes de ponto de bolha) e testes de desafio de partículas, e fornece um relatório de certificação (CoC).
Área de aplicação	A fabricação de semicondutores, painéis de exibição, fotovoltaicos, barras pré-fabricadas de fibra óptica, etc., exigem um processo de gás de ultra-alta pureza, comumente em gravura, gravura, CVD、 Linha de abastecimento de gás para equipamentos como injeção de íons.

3. Características principais
Alta eficiência de captura: Mecanismo de carga profunda, capacidade de retenção de partículas submicrônicas e nanométricas.
Baixa precipitação e baixa liberação: Estrutura totalmente metálica e tratamento de polimento eletrólico para controlar eficazmente a precipitação de íons metálicos e reduzir a desadesão de água e gás.
Alta integridade estruturalFiltro e carcaça metálicos robustos, resistentes a flutuações de pressão do sistema, choques e altas temperaturas.
Ampla compatibilidadeAplicável a vários gases de processo altamente puros, corrosivos e inertes, como N₂, H₂, O₂, Ar, He, SiH4, HCl, Cl₂, WF6, etc.

4. Notas importantes

Os parâmetros técnicos específicos (como tamanho da conexão, grau de filtragem preciso, pressão nominal) devem serEspecificação final do produto (Datasheet) e relatório de certificação da EntegrisDe acordo.

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