Máquina de evaporação de tratamento hidrofóbico Máquina de revestimento a vácuo de acoplador controlado

NegociávelAtualização em05/16

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Visão geral

A máquina de revestimento a vácuo de acoplador controlado pelo controle da temperatura de trabalho do processo de tratamento, tempo de tratamento, tempo de manutenção durante o tratamento e outros parâmetros pode revestir uniformemente uma camada de acoplador (HMDS) na folha de silício e superfície da base, alterando o ângulo de contato do substrato, reduzindo a quantidade de cola fotográfica e melhorando a adesividade da cola fotográfica e da folha de silício.

Detalhes do produto

Máquina de vaporização de tratamento hidrofóbico Papel da máquina de revestimento a vácuo de acoplador

Manter o tempo durante a temperatura de funcionamento, o tempo de processamento e o processamentoO controle de outros parâmetros pode revestir uniformemente uma camada de acoplador na superfície da placa de silício e substrato (HMDS (em inglês).MudarÉ.SubstratodoO ângulo de contato reduz a quantidade de cola fotográfica e melhora a adesividade da cola fotográfica e da folha de silício.

Seguir os padrões nacionais relevantes, padrões da indústria, padrões locais e outros padrões e normas

Cumprir os critérios:Normas do sistema de qualidade ISO9001 e padrões nacionais relevantes, padrões da indústria e especificações dos fabricantes de equipamentos.

Máquina de evaporação de tratamento hidrofóbico Função da máquina de revestimento a vácuo de acoplador controlada

número de série	Funções	Parâmetros técnicos
1.	dimensão	Dimensão interna (profundidade)* Largura * Altura):≥300×300×300 (milímetros)Vários tamanhos disponíveis，Dispositivos com design compacto e integrado para colocação no desktop- É.
2.	material	A caixa externa é usada por pulverização de placa laminada a frio de alta qualidade, a caixa interna é usada Aço inoxidável 316L，Número de camadas de prateleiras≥2Camada- É.
3.	Faixa de temperatura	RT+10-200℃，Volatilidade≤±0.5- É.
4.	Limpeza	class 100， Equipamento com material livre de poeira, aplicável ao ambiente de limpeza entre níveis de luz de 100- É.
5.	Energia e potência total	AC 220V±10% / 50HZ，Potência Total：2.5kw- É.
6.	Instrumentos de controle	Interface homem-máquina，ControlávelAdição de HMDStempo- É.
7.	Bomba de vácuo	Bomba de vácuo anti-óleo ou sem óleo,真空度：≤ 1torr，
8.	Dispositivos de proteção	Proteção contra sobretemperatura, fugas, etc.- É.
9.	HMDS alerta a polícia	EquipadoDispositivo de monitoramento em tempo real HMDS com alerta- É.

O sistema é adequado não apenas para a fabricação de circuitos integrados tradicionais à base de silício, mas também para a terceira geração de semicondutores (como SiC, GaN, etc.). Áreas emergentes como embalagem (TSV, Fan-Out) e transferência de massa de Micro-LEDA capacidade de promover a adesão também mostra um enorme potencial. Tratamento de superfície estável é:pedra angular da industrialização tecnológica.Para fábricas de fabricação de wafers de semicondutores (Foundry), departamentos de pesquisa e desenvolvimento de processos de empresas de design de circuitos integrados, empresas de fabricação de MEMS, produção de máscaras ópticas, fabricantes de dispositivos de semicondutores compostos (como GaN, SiC), institutos de pesquisa e laboratórios de micronanoprocessamento em universidades.Fabricantes de embalagens (AP), fabricantes de LEDs, empresas de pesquisa e desenvolvimento de chips de microfluidos, etc.

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