Sistema de vaporização a vácuo de plasma Máquina de revestimento a vácuo de plasma

Sistema de vaporização a vácuo de plasma Máquina de revestimento a vácuo de plasma

Utilizar fontes de energia de alta tensão de alta frequência para gerar plasma em um determinado ambiente de vácuo ou atmosfera de gás específica. Através de íons de alta energia que atingem a superfície do material, removem poluentes e impurezas da superfície, tornam a superfície rugosa e aumentam a área da superfície. Isso altera as propriedades químicas da superfície do material e melhora suas propriedades de hidrofilidade, adesividade e resistência ao desgaste. Depois de depositar a fase de aditivo (ou acoplador, anti-adesivo) na superfície do substrato (folhas de silício, arseneto de gálio, niobato de lítio, vidro, zafir, wafer, etc.), o aquecimento pode reagir para produzir compostos com base em silicoxano. Ele transformou com sucesso a superfície da base da hidrofílica para a hidrofóbica, e sua base hidrofóbica pode ser bem ligada à fotogravura, desempenhando o papel de agente de acoplamento.

Sistema de vaporização a vácuo de plasma Vácuo Máquina de revestimento a plasma

Frequência do sistema de alimentação: 13.56M

Tipo de fonte de alimentação: fonte de alimentação RF, potência ajustável (com correspondência automática)

Número de placas de eletrodos: 2 camadas (ou mais camadas)

Disposição da placa de eletrodos: Disposição horizontal / vertical

Distância entre placas de eletrodos: 150 mm (pode ser especificado)

Material da cavidade: aço inoxidável 316L

Faixa de temperatura: temperatura ambiente -150 ℃

Vácuo: ≤30pa

Bomba de vácuo: bomba de vácuo sem óleo

Acoplador: sistema de fluidização de acoplamento 1-2 vias opcional

Viagem: 1-5 viagens opcionais

Função de limpeza: tempo de limpeza ao plasma, número de vezes, potência de alimentação etc. ajustável

Sistema de revestimento: tempo de revestimento, número de ciclos, processo de revestimento editável

Interface de operação: Interface homem-máquina / controle industrial

Automação: opcional com sistemas inteligentes como MES, GEM e outros

A máquina de limpeza de plasma é usada para limpar dispositivos ópticos, componentes eletrônicos, dispositivos a laser, substratos de revestimento, chips para melhorar a adesão de componentes ópticos, fibras ópticas, materiais biomédicos, materiais espaciais, etc. A viscosidade da cola usada para remover a superfície de óxidos de materiais metálicos para ativar a superfície de materiais como vidro, plástico, cerâmica, altamente polímeros, para melhorar a adesividade da superfície, penetração, compatibilidade com a modificação da superfície de materiais poliméricos, etc.